机型:R-BC10

端导真镀机主要参数

规格

范例

功用确认

备注

实用产物型别

0402  0603  0805  1206型别(需指定)

真空检测

复合真空计(露电阻规+电离规)

电源

3P4W 220V/380V  50Hz

溅射体式格局

直流脉冲磁控溅射,功率12KW

气压

5kg/c㎡  以上(饱和压力)

治具溅射体式格局

自传+公转夹角溅射,转速0~5r/min可调

操纵接口

触控屏幕

事情气体运送

量流量计(MFC)+电磁阀组合,输入Ar(0~100sccm±0.1%)

产能

30min/

空载极限真空

1.0×10-4Pa

良率

99%以上

走漏率

真空度由1.0×10-4Pa降至5.0×10-2Pa工夫≥5min

稼动率

85%

空载抽速

常压到6.0×10-2Pa用时≤10min

抽真空体系

油散布泵+机器泵体系

阻抗

丈量单片瓷条端面阻抗小于100Ω

端导真镀机功用阐明

腔体:

1.转盘

2.治具

真空计:

1.复合式数显真空计

2.电阻规

3.电离规

溅射靶:

1.镍铬靶材

2.磁控源

真空阀:

1.主阀

2.底阀

3.粗抽阀

4.节流阀

5.管道阀(衔接各泵浦管道阀门)

水冷体系:

1. 收支水管路

2. 水压表及缺水报警器

电柜:

1.人机界面

2.磁控电源

3.偏压电源

抽真空体系:

1.单片旋片泵

2.散布泵

软件功用:

1.造程讲演纪录

2.可预设10组事情参数

3.警讯经验

4.真空度、电流、电压趋向图

5.Target换靶预警功用

6.硬件行动interlock、毛病行动珍爱功用

装备机能:

1.本装备接纳单片旋叶泵+散布泵组合抽真空体系,抽真空速度较快,从大气压抽到事情真空需求约5MIN,比之前装备勤俭25min/炉以上。效力提拔30%-50%,单炉消费正在25-30min之内。

2.调养周期少,连续生产无需调养(除一样平常靶材调养),受情况影响较小,无停机后重启工夫上等题目。

 3.优秀的人机通信功用,操纵更便利。可一连存储一年的工艺参数,便于品格跟踪。壮大的数据处理功用,可取现场ERP衔接运用。

批评

  • 管理员葡京赌场网址22139

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